【ITBEAR科技資訊】4月2日消息，韓國半導體巨頭SK海力士與特種氣體制造商TEMC共同宣布，雙方已成功研發出業內首項氖氣回收技術。此項技術預計每年將為SK海力士節省高達400億韓元(折合人民幣約2.14億元)的氖氣采購費用。
近年來，受地緣政治環境影響，稀有氣體如氖氣的供應鏈日益緊張，價格也隨之飆升。在這一背景下，SK海力士與TEMC的合作顯得尤為重要。氖氣在半導體光刻工藝中發揮著至關重要的作用，是準分子激光氣體的核心組成部分。然而，由于其化學性質穩定，難以與其他物質反應，因此可以通過特定的技術進行分離和純化，從而實現回收再利用。
SK海力士與TEMC緊密合作，開發了一系列氖氣回收裝置。這些裝置能夠在光刻工藝完成后，有效地從環境中收集并選擇性分離出氖氣。隨后，這些分離出的氖氣將由TEMC進行專業純化，確保其質量達到重新供應給SK海力士的標準。
據ITBEAR科技資訊了解，目前這套回收裝置的整體回收率已達到72.7%，并有望在未來進一步提升至77%。這一突破性的回收技術不僅有望顯著降低SK海力士的氖氣采購成本，還將為環保事業作出巨大貢獻，預計每年可減少約12000噸二氧化碳當量的碳排放。
此外，韓國另一家半導體巨頭三星電子也在積極探索氖氣的回收利用技術，以期在芯片生產過程中實現更高效的資源利用。這一趨勢反映出，隨著全球對稀有氣體資源的爭奪日趨激烈，半導體行業正不斷探索新的技術路徑，以應對供應鏈挑戰并實現更可持續的發展。
