12 月 2 日消息,ASML 在官網紀念品商城上架了一款特殊的產品:世界首型 High NA EUV 光刻系統 TWINSCAN EXE:5000 的樂高模型套裝。
TWINSCAN EXE:5000 光刻機是首款采用 0.55NA 數值孔徑的光刻機,其分辨率達 8nm,成像對比度較此前的 NXE 系列 0.33NA EUV 系統高 40%,支持 2nm 邏輯節點圖案化,單價達 3.5 億歐元(IT之家備注:當前約 26.8 億元人民幣)。
▲ 左側為實物,右側為樂高模型
▲ 模型另一側
▲ 桌面效果
該樂高套裝由 ASML 開發人員 —— 同樣也是樂高愛好者 —— Rick Lenssen 設計,擁有 851 個部件,寬高深三維 352×99×64 mm,定價 227.95 美元(當前約 1653 元人民幣)。
Rick Lenssen 此前曾耗時合計 2.5 年(1.5 年設計藍圖、1 年實際組裝)用樂高積木復現了 ASML 的費爾德霍芬主園區,還推出過多款 ASML 主題的樂高套裝產品。
▲ASML 費爾德霍芬主園區。圖源 Rick Lenssen 個人網站,下同
▲ ASML 老 Building (1)
▲ASML 費爾德霍芬園區部分建筑
【來源:IT之家】