國產半導體生產設備制造領域正迎來蓬勃發展期，其中，一家新興企業——成都入江富樂德精密機械有限公司（以下簡稱“成都入江富樂德”），憑借其出色的技術和產品，在成都半導體產業鏈中嶄露頭角。
今年3月，成都入江富樂德正式在成都市龍泉驛區開業，專注于波紋管和真空閥門的制造。近日，記者探訪了這家公司，深入了解了其在半導體生產設備閥門制造領域的創新成果。
在成都入江富樂德的生產車間，閥門設計課副課長于洲向記者展示了公司的閥門產品，并詳細闡述了其技術特性。他介紹，在半導體生產工藝中，閥門扮演著至關重要的角色，它們負責隔離與保護、流量與壓力控制、傳輸與定位以及確保系統的安全性與可靠性。
然而，目前國內真空閥門制造領域面臨的一大難題是微小顆粒的控制。閥門在開關過程中會產生顆粒，而半導體客戶對顆粒的要求極為嚴格，任何不合格都會導致產品不良率顯著上升。于洲自豪地表示，成都入江富樂德的閥門具有低振動、低顆粒產生和長壽命的特點，即使在連續開合6萬次后，產生的顆粒數量也僅為10顆。
為了確保產品的穩定性和可靠性，成都入江富樂德對閥門進行了嚴格的測試。針對12寸小型的半導體閥門，公司正在進行包括氦檢測試、顆粒測試、振動測試和壽命測試在內的多項測試。目前，壽命測試已進行了約180萬次的動作循環，每隔20萬次都會進行一次全面的性能測試。該閥門的設計壽命為200萬次，但公司設定了更高的測試目標，即動作達到300萬次，以確保其壽命的安全系數不小于1.5。
作為國產半導體生產設備閥門制造的新秀，成都入江富樂德不僅注重技術創新，還高度重視四川本土化生產。記者了解到，公司的小型閥門生產主要集中在成都，而大型閥門和波紋管的生產則在內江進行，投資超過3億元，占地面積達9000平方米的廠房已正式投入使用。目前，公司的客戶涵蓋了北方華創、中微半導等知名企業。
天眼查APP顯示，成都入江富樂德成立于2023年，是安徽入江富樂德精密機械有限公司的全資子公司。股權關系顯示，入江工研株式會社與富樂德分別持有安徽入江富樂德51%和49%的股份。富樂德是一家在泛半導體領域提供設備精密洗凈服務的知名企業，于2022年12月登陸創業板，專注于為半導體和顯示面板生產廠商提供一站式設備精密洗凈服務。
