11月17日舉行的2021“專精特新”冬季新品發布會上，由深圳市軸心自控技術有限公司現場展示的“半導體大氣式等離子表面處理系統”（以下以其中一款機型“MYS10設備”為指代），打破了被國外廠商長期壟斷的格局，在關鍵性能指標上甚至實現超越。
MYS10設備是一款高靈活性、高兼容性小巧型平臺，一般應用在半導體、PCB板、LED顯示等行業的生產工藝中的清洗及活化，解決電子元器件表面的污跡、燒結等缺陷隱患，可以稱作是半導體等行業生產環節中的重中之重，對于提升產品合格率良率至關重要。
據了解，經過多年攻關，目前產品已經得到國內外主流的半導體、屏顯廠商的認可及使用。
軸心自控產品推薦官熊欽介紹入圍產品
打破壟斷 從跟隨到引領
軸心自控瞄準半導體生產中的一道重要且細分工序——等離子清洗，創新推出的“半導體大氣式等離子表面處理系統”吸引了發布會現場眾多目光。
眾所周知，半導體前端晶圓級和后端封裝級生產工序中，由于有機臟污、金屬氧化物、顆粒污染等在器件和材料表面，這些臟污會明顯地影響封裝生產及產品質量。行業一般利用等離子體清洗技術，能夠很有效清除掉生產過程中形成的這些分子水平的污染，從而顯著地改善封裝的可制造性、可靠性及成品率。
不僅半導體產業，消費電子、汽車電子、顯示等產業各類產品為提高產品穩定性和可靠性，都離不開這道工藝技術。
“此前，產業普遍采用真空等離子處理技術，但是這種技術被國外廠商長期壟斷，等于說受制于人。”軸心自控產品經理熊欽介紹，一臺同類型設備費用高昂，差不多在15萬美元以上，采購時根本沒有話語權。
MYS10設備打破了這種壟斷，其業內首創的常壓式氬氣等離子系統在多項關鍵指標上實現超越，也使得我國同類產品在國際上從跟隨者躍升為引領者。根據介紹，該設備可兼容各種不同尺寸的產品，且可快速切換，最大可處理85寸產品；100%中性等離子，多種化學制程，沒有離子轟擊，不會對產品帶來傷害，更安全友好；除此之外，多種機臺不同配置可滿足不同產品應用，所以基本能滿足不同領域產品生產需求。
傳統的處理系統需要真空處理和填充惰性氣體兩道繁瑣工序，MYS10設備做了更多創新,通過消除傳統真空式等離子處理的等待時間，這套系統在帶來產能和良率提升的同時，也能確保安全處理所有敏感性電子元件。與此同時，100mm寬等離子在線式批量處理，可進一步滿足高產能，據估算，相比傳統方式效率可提升2-5倍，成本降低30%以上。
熊欽表示：“以前受制于國外壟斷，現在國產不僅實現替代，性能價格上相比較也有了更大的優勢”。據了解，產品自今年5月份發布，收到客戶非常積極的評價，普遍認為非常具有創造性和實用性，現在已經陸續出貨接近20臺。
入圍產品“MYS10設備”
創新讓小企業跑出加速度
此次獲評廣東省“專精特新”的20家企業中，不乏在所屬的細分領域精耕細作、苦練內功的“小企業”，它們在核心技術上不斷突破，干出了令人稱道的“大事業”，軸心自控更是其中的典型代表。
自2008年站在“起跑線”，軸心自控從一家小企業逐漸成長為中國流體自動化領域首屈一指的制造商，源于多年來堅持核心技術的基礎研發。“不斷拓展新思路，不斷發現新問題，不斷試錯。”熊欽回憶起漫長的開發歷程不斷提到這一點。
這種創新精神帶來的正向反饋讓企業越跑越快，公司不僅成為多家全球制造行業巨頭的重要合作伙伴，同時深度參與制定行業標準，引領行業發展。
