來源：智東西
近日，國產CMP（化學機械拋光）設備龍頭華海清科上市，其12英寸CMP設備打破了國際巨頭壟斷，為中芯國際、華虹和長江存儲等國產晶圓制造廠商提供了自主可控的CMP設備。值得注意的是，華海清科的首臺12英寸設備就是向國產晶圓代工龍頭中芯國際出貨進行驗證，公司也在中芯國際的陪伴下成為了CMP設備領域的國產龍頭。
上市儀式中，華海清科董事長路新春與國家02專項總師葉甜春都盛贊了中芯國際對半導體設備國產化的支持。而其產品率先在中芯國際通過驗證，隨后打入國內外市場，最終發展壯大、實現國產化的故事，并非僅有華海清科一例。
拓荊科技、芯源微、北方華創、中微公司、上海新陽、滬硅產業等國產半導體玩家都有核心產品首先在中芯國際通過驗證，此后成為了細分領域的國產龍頭。
中芯國際作為國產晶圓代工“一哥”，在面對使用新的國產半導體設備、材料風險時，愿意培養國產半導體設備和材料企業。其更是親身帶出了一批國產半導體設備、材料IPO，推動國產半導體供應鏈成長。
▲中芯國際帶出的十大半導體設備、材料IPO情況（截至2022年6月20日）
一、 國產設備、材料難過驗證關，中芯國際成為試金石
對于中國半導體產業，上游的半導體設備和材料既是被“卡脖子”的重要領域，也是國產半導體企業飛速成長的賽道。
至今，滬硅產業、中微公司、北方華創、芯源微、拓荊科技、盛美上海、屹唐股份、華海清科等各大細分領域材料、設備龍頭相繼上市，加速了半導體材料和設備領域國產化。
而很多國產半導體材料、設備龍頭的新產品在首次打入市場時，往往會優先選擇中芯國際這家國產晶圓制造龍頭。
對于國產半導體設備和材料玩家來說，新產品想要打入市場，真正地替代國際巨頭的產品，不僅要在性能參數和性價比上取得優勢，更要取得晶圓廠的信任，通過其漫長、嚴格的驗證。
半導體行業是一個資本密集、技術密集的行業，最尖端的先進制程晶圓廠投資往往要數十億甚至上百億美元，而且少數國際巨頭基本占據了主要的市場份額。
中國刻蝕設備龍頭中微公司的招股書中寫道：“半導體制造商對設備的嚴苛要求使得行業新進入者需要經過較長時間的技術積累才能進入該領域，長期的研發與驗證對行業進入者的資本實力也提出了很高的要求。”
▲中微公司產品的驗證階段（圖片來源：中微公司招股書）
出于對良率和成本等核心競爭力的考慮，晶圓廠在很多時候不具備使用新進入企業產品的意愿。
有中芯國際的內部人士對芯東西提及，上游的設備廠商必然都希望能夠得到名企大廠的背書，但這種驗證對晶圓廠來說存在較大的風險，選擇也會更嚴。
對國產半導體設備廠商和材料廠商來說，中芯國際就是其驗證的首選，也是一塊試金石。
不過，盡管驗證十分困難，但設備和材料產品一旦通過驗證并實際進入產線，即進入了下游客戶的合格供應商名錄，后續采購需求也會相對穩定。
華海清科、拓荊科技、芯源微、中微公司、北方華創等公司的新產品在通過中芯國際驗證后，由中芯國際開始逐漸打開了國內乃至國外的晶圓廠市場，對國際龍頭的產品起到了替代作用。
二、助力五大國產設備龍頭，國產設備進入12英寸產線
華海清科、拓荊科技、芯源微、中微公司、北方華創五家細分領域國產設備龍頭的成長都離不開中芯國際的支持。
具體來說，華海清科、拓荊科技和中微公司的首臺產品都由中芯國際進行驗證，隨后其產品才逐漸打入國內其他的晶圓廠，逐步替代了外國龍頭的產品；北方華創的驗證單位就是中芯國際，其12英寸刻蝕機、清洗機、氧化爐等設備都由中芯國際進行驗證；芯源微的前道晶圓清洗機由中芯國際率先進行驗證。
1、中微公司：等離子刻蝕設備率先進入中芯國際
中微公司2004年8月在上海張江啟動運營，產品主要為半導體刻蝕設備。據媒體報道，2007年，中微公司推出了應用于65納米至45納米高端芯片生產的刻蝕設備，并率先在國內12英寸產線上進行試用。從時間上看，中芯國際是國內唯一擁有12英寸晶圓產線的企業，該產品試產驗證有很大可能在中芯國際進行。
此后，這種合作也有所延續。中微公司等離子體刻蝕設備Primo AD-RIE裝配中芯國際，首次進入中國大陸客戶生產線，用于32nm至28nm制程。
至今，中微公司產品已成功進入國際龍頭的7nm產線，成為了國產半導體設備龍頭之一。
2、北方華創：多個28nm產品在中芯國際驗證
北方華創是由北京七星華創電子股份有限公司和北京北方微電子基地設備工藝研究中心有限責任公司于2017年2月戰略重組而成，是國內半導體設備龍頭，其半導體產品包括刻蝕、薄膜沉積、氧化、清洗、量測等多個領域，被譽為中國“應用材料”。
據悉，北方華創承擔了較多的02專項裝備項目，其驗證單位就是中芯國際。中芯國際承擔了北方華創大部分專項項目（半導體設備）的驗證工作，幫助北方華創完成了氧化爐、刻蝕機、清洗機等半導體設備90/55/40/28納米工藝驗證。北方華創能夠有如此多的產品打入28nm，中芯國際的功勞不可埋沒。
3、拓荊科技：中芯國際陪伴成為國產薄膜沉積設備龍頭
拓荊科技成立于2010年4月，總部位于遼寧省沈陽，是國內唯一一家產業化應用的集成電路化學氣相沉積（PECVD）、次常壓化學氣相沉積（SACVD）設備廠商，也是國內領先的原子層沉積（ALD）設備廠商。
根據拓荊科技招股書，其產品已經適配了國內最先進的28/14nm邏輯芯片、19/17nm DRAM芯片和64/128層3D NAND Flash晶圓制造產線，并已展開10nm及以下制程產品驗證測試。
2011年，拓荊科技推出了其首臺產品12英寸PECVD設備，中芯國際為首位客戶。2012年，拓荊科技推出12英寸多反應腔PF-300T設備，并于2013年通過中芯國際產品線測試。
2014年12月，拓荊科技PF-300T產品獲中芯國際量產設備訂單；2015年9月，PF-300T在中芯國際生產線流片一萬片；2017年12月，該設備在中芯國際生產線達成流片100萬片里程碑。
從PF-300T通過測試，到100萬片流片，再到上市，拓荊科技在中芯國際的陪伴下，通過了“十一五”國家重大專項驗收，并成長為了薄膜沉積設備的國產龍頭。
4、芯源微：前道清洗設備率先在中芯國際通過驗證
芯源微前身為沈陽芯源先進半導體技術有限公司，設立于2002年12月，總部位于沈陽，其產品包括光刻工序涂膠顯影設備（涂膠/顯影機、噴膠機）和單片式濕法設備（清洗機、去膠機、濕法刻蝕機）。
其前道清洗機產品同樣首先通過了中芯國際（深圳廠）工藝驗證，并完成了首臺的銷售。這也幫助芯源微完成了其單片式濕法設備的技術驗證和量產。
5、華海清科：中芯國際助力12英寸CMP設備國產應用
華海清科成立于2013年4月，總部位于天津市，是天津市人民政府和清華大學合資成立的企業，是當前唯一能夠提供12英寸CMP（化學機械拋光）設備的國產半導體設備企業。
中芯國際是華海清科的首位客戶。華海清科的首臺12英寸CMP設備Universal-300于2015年8月2日交付中芯國際，2016年通過中芯國際驗收。2017年，其Universal-300 Plus型號再次進入中芯國際驗證，同年完成驗收，通過了Oxide、W多項工藝驗證。
從中芯國際開始，華海清科開啟了12英寸CMP設備的國產化應用。
▲華海清科發展歷程
三、帶出五大材料供應商，覆蓋硅片、光刻膠等領域
除了半導體設備，安集科技、江豐電子、上海新陽、晶瑞股份、滬硅產業等半導體材料上市公司也是“中芯鏈”的重要成員。
1、滬硅產業：打破國際龍頭12英寸硅片壟斷
滬硅產業成立于2015年12月，其旗下的上海新昇是我國首個12英寸半導體硅片供應商，為國產晶圓制造企業提供了自主、可控的12英寸硅片。
研制12英寸硅片成功后，上海新昇在2018年陸續通過了上海華力微和中芯國際的驗證，正式打破了此前被信越化學、勝高、SK siltron等國際龍頭對12英寸大硅片的壟斷。
2、上海新陽：刻蝕清洗液等產品率先進入中芯國際
1999年7月，上海新陽成立，其擁有完整自主可控知識產權的電子電鍍和電子清洗兩大技術，能夠為下游廠商提供化學材料、配套設備、應用工藝和現場服務一體化整體解決方案。
具體來說，上海新陽是中芯國際的蝕刻清洗液供應商，其大馬士革硫酸銅、銅線干法蝕刻清洗液、鋁線干法蝕刻清洗液等產品率先用于中芯國際S1產線。
3、安集科技：中芯國際助力實現國產替代
安集科技成立于2006年2月，產品包括不同系列的化學機械拋光液和光刻膠去除劑等。安集科技為中芯國際批量供應CMP拋光液，中芯國際也是安集科技的第一大客戶。
根據其招股書，2016年-2018年期間，安集科技對中芯國際的銷售占比分別達66.37%、66.23%和59.70%，其發展和中芯國際有著緊密的聯系。
在其支持下，安集科技打破了國際龍頭對集成電路領域化學機械拋光液和部分功能性濕電子化學品的壟斷，實現了進口替代，并成為了行業主流供應商。
