7月9日，由中國集成電路創(chuàng)新聯(lián)盟主辦的”2022集成電路產(chǎn)業(yè)鏈協(xié)同創(chuàng)新發(fā)展交流會”以六大會場加網(wǎng)絡(luò)連線的方式同步舉行。來自集成電路全產(chǎn)業(yè)鏈各環(huán)節(jié)的優(yōu)秀企業(yè)、高校和科研院所的千余位代表參會，東方晶源董事長俞宗強博士、總經(jīng)理蔣俊海先生受邀出席。會上頒發(fā)了第五屆集成電路產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新獎（簡稱“IC創(chuàng)新獎”），東方晶源憑借電子束缺陷檢測設(shè)備（EBI），斬獲技術(shù)創(chuàng)新獎。
“IC創(chuàng)新獎”由中國集成電路創(chuàng)新聯(lián)盟主辦，面向國內(nèi)集成電路產(chǎn)業(yè)鏈上下游企事業(yè)單位征集，重點鼓勵集成電路技術(shù)創(chuàng)新、成果產(chǎn)業(yè)化、產(chǎn)業(yè)鏈上下游合作，是集成電路產(chǎn)業(yè)最重要的技術(shù)獎項之一，其中技術(shù)創(chuàng)新獎項旨在表彰在集成電路重大技術(shù)創(chuàng)新和關(guān)鍵技術(shù)開發(fā)方面取得重大突破的單位和團(tuán)隊。此次摘得行業(yè)重磅賽事的重要獎項，再次彰顯出東方晶源在電子束檢測、量測領(lǐng)域的技術(shù)實力和行業(yè)的高度認(rèn)可。
檢測是芯片制造廠商提高良率的關(guān)鍵手段。電子束檢測設(shè)備具有超高精度，在高端芯片制造過程發(fā)揮的作用越來越大。目前，該類設(shè)備被國外廠商壟斷，成為制約我國芯片制造自主可控的關(guān)鍵瓶頸。東方晶源數(shù)年磨劍，成功研發(fā)出國內(nèi)首臺電子束缺陷檢測設(shè)備SEpA-i505，可提供完整的納米級缺陷檢測和分析解決方案。目前已通過我國頭部芯片制造廠商產(chǎn)線驗證，驗證結(jié)果表明主要指標(biāo)與國外一線對標(biāo)機臺達(dá)到同等水平，成功解決我國在電子束檢測領(lǐng)域的關(guān)鍵技術(shù)難題。
東方晶源在電子束檢測、量測領(lǐng)域已深耕多年并成功推出多款設(shè)備，取得重大突破。除此次獲獎的電子束缺陷檢測設(shè)備EBI外，旗下首臺12英寸關(guān)鍵尺寸量測設(shè)備CD-SEM（型號：SEpA-c410）于去年6月進(jìn)入產(chǎn)線驗證，目前完成成熟制程量產(chǎn)驗證，圖像質(zhì)量清晰，與POR 的CD差異滿足要求，性能持續(xù)改良中；首臺8英寸CD-SEM（型號：SEpA-c300）于今年3月進(jìn)入產(chǎn)線驗證，目前已經(jīng)進(jìn)入客戶產(chǎn)線小規(guī)模試產(chǎn)。此外，東方晶源還于近期發(fā)布了電子束缺陷復(fù)檢設(shè)備（DR-SEM），目前該設(shè)備工程機（Alpha機）已經(jīng)通過首輪wafer demo，可以滿足28nm及以上的制程需求，Beta機集成工作加速推進(jìn)中，已拿到客戶訂單，進(jìn)入產(chǎn)線驗證指日可待。
作為一家聚焦集成電路良率管理領(lǐng)域，以降低芯片制造門檻為使命的半導(dǎo)體企業(yè)，東方晶源一直以研發(fā)創(chuàng)新為發(fā)展核心，不斷豐富產(chǎn)品矩陣并提升產(chǎn)品性能，填補多項國內(nèi)空白。未來，東方晶源將繼續(xù)立足一體化軟件平臺和檢測裝備兩大領(lǐng)域，以客戶為中心，以市場為導(dǎo)向，不斷進(jìn)行技術(shù)突破與產(chǎn)品創(chuàng)新，與我國集成電路產(chǎn)業(yè)上下游企業(yè)勠力同心，推動我國集成電路制造產(chǎn)業(yè)持續(xù)高速發(fā)展。
