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【ITBEAR科技資訊】3月13日消息,荷蘭半導體設備制造商ASML近日宣布,其高端DUV光刻機可進行出口,這將有助于公司加快相關訂單的處理速度。

ASML公司的DUV光刻機是一種浸沒式光刻機,屬于193nm(光源)光刻機,可用于制造16nm至7nm的先進工藝芯片,也廣泛應用于45nm及以下的成熟工藝中。

據ASML官網顯示,公司主要生產三款DUV光刻機產品:TWINSCAN NXT:1980Di,TWINSCAN NXT:2000i和TWINSCAN NXT:2050i。其中,2000i和2050i兩款產品是公司此次宣布可進行出口的光刻機設備。

雖然NXT:1980Di理論上也可達到7nm,但由于步驟更為復雜,成本更高,且良率可能會有所下降,晶圓廠主要用于生產14nm及以上工藝的芯片,很少用于生產14nm以下的工藝。

據ITBEAR科技資訊了解,據悉,ASML公司2022年的凈銷售額達212億歐元,毛利率為50.5%。公司2022年底未交付訂單達404億歐元,創下歷史新高。當年共售出317臺新光刻機,比上一年增長31臺。公司還出貨了28臺二手光刻機。

針對今年的業績表現,ASML公司表示將會加速處理一些訂單,特別是高端DUV光刻機系列,以確保公司業績強勁增長。

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