隨著疫情逐漸趨于穩(wěn)定,各大精密儀器企業(yè)紛紛復(fù)蘇,不斷創(chuàng)新探索半導(dǎo)體行業(yè)的更多可能。2021年3月17–19日,半導(dǎo)體行業(yè)年度盛會(huì)“SEMICON China”如期在上海新國際博覽中心召開。作為百年光學(xué)企業(yè),奧林巴斯受邀出席此次盛會(huì),與全球同行交流分享前瞻的光學(xué)技術(shù)和解決方案,共同推進(jìn)中國半導(dǎo)體行業(yè)的發(fā)展。
本次大會(huì)以“跨界全球·心芯相聯(lián)”為主題,為業(yè)界各方提供了交流、合作與創(chuàng)新的平臺(tái)。展會(huì)期間,奧林巴斯于會(huì)展中心“N2館2627展位”搭建展臺(tái),其OLS5100、DSX1000、MX63L等明星產(chǎn)品悉數(shù)亮相,為行業(yè)提供更高效先進(jìn)的成像解決方案,吸引了眾多參會(huì)來賓的參觀駐足。
SEMICON China 2021奧林巴斯展臺(tái)
“專注亞微米檢測(cè)”LEXT OLS5100 3D測(cè)量激光顯微鏡
展會(huì)上引人注目的莫過于 LEXT OLS5100 3D測(cè)量激光顯微鏡。隨著工業(yè)設(shè)備朝著微型化、輕量化發(fā)展,芯片的集成度越來越高,半導(dǎo)體行業(yè)對(duì)亞微米級(jí)別的超精密加工和檢測(cè)的需求越來越大。對(duì)此,奧林巴斯提供的3D測(cè)量激光顯微鏡LEXT OLS5100,憑借亞微米3D觀察和表面粗糙度測(cè)量高水平的準(zhǔn)確性和精度,為用戶提供用于質(zhì)量保證和工藝控制的可靠數(shù)據(jù)。
同時(shí),作為一款智能3D測(cè)量激光顯微鏡,奧林巴斯LEXT OLS5100顛覆了傳統(tǒng)激光顯微鏡操作復(fù)雜的現(xiàn)狀,所有必要的設(shè)置調(diào)整和數(shù)據(jù)采集均由顯微鏡自動(dòng)完成,操作員只需將樣品放在載物臺(tái)上,按下開始按鈕即可針對(duì)待測(cè)樣品進(jìn)行精細(xì)的形貌測(cè)量,讓測(cè)試檢驗(yàn)的流程更快、更高效。
備受關(guān)注的LEXT OLS5100 3D測(cè)量激光顯微鏡
“快速故障分析能手”DSX1000 數(shù)碼顯微鏡
奧林巴斯展區(qū)內(nèi)的數(shù)碼顯微鏡,同樣使人眼前一亮。在工業(yè)生產(chǎn)中,樣品細(xì)微的偏差,會(huì)直接導(dǎo)致檢測(cè)報(bào)告的回饋出現(xiàn)偏差,這對(duì)企業(yè)產(chǎn)品品控以及生產(chǎn)有著很大的影響。為了確保產(chǎn)品研發(fā)、生產(chǎn)的順利進(jìn)行,奧林巴斯DSX1000 數(shù)碼顯微鏡,可滿足各種觀察和分析需要,快速進(jìn)行宏觀至微觀的觀察。
在檢測(cè)過程中,DSX1000數(shù)碼顯微鏡的電動(dòng)變焦光路結(jié)合了先進(jìn)的觀察功能,可實(shí)現(xiàn)明場(chǎng)、暗場(chǎng)、MIX、偏光、斜射、微分干涉六種觀察方法一鍵式切換及對(duì)比度增強(qiáng),細(xì)微之處的缺陷劃痕也可輕松觀察。DSX1000數(shù)碼顯微鏡還可實(shí)現(xiàn)多種樣品的觀察,顯微鏡頭部和載物臺(tái)都可以旋轉(zhuǎn)±90°,無論是微小樣品還是大型樣品的觀察和分析都更易于實(shí)現(xiàn)。此外,DSX1000配備的遠(yuǎn)心光學(xué)系統(tǒng)使其在整個(gè)放大范圍內(nèi)的圖像失真率極低,實(shí)現(xiàn)了有保證的準(zhǔn)確度和重復(fù)性的高精度測(cè)量。
工作人員為現(xiàn)場(chǎng)嘉賓講解DSX1000 數(shù)碼顯微鏡
“大尺寸樣品檢測(cè) 順暢高效”MX63L工業(yè)檢測(cè)顯微鏡
對(duì)于檢測(cè)人員來說能夠在日常工作中,使用一臺(tái)檢測(cè)順暢、操作簡便的儀器是提高工作效率的核心,而奧林巴斯MX63L半導(dǎo)體檢測(cè)顯微鏡具備優(yōu)異的光學(xué)性能、適合大尺寸樣品、先進(jìn)的人體工學(xué)設(shè)計(jì)等諸多優(yōu)點(diǎn),充分展現(xiàn)了其在高質(zhì)量檢測(cè)方面的獨(dú)特優(yōu)勢(shì)。
MX63L顯微鏡系統(tǒng)支持檢測(cè)尺寸達(dá)300毫米的晶圓、平板顯示器、印刷電路板以及其它樣品的質(zhì)量。此外,該顯微鏡還可以搭配晶圓搬送機(jī)AL120使用,實(shí)現(xiàn)無需使用鑷子或工具即可安全地將硅或化合物晶圓從晶圓匣運(yùn)送到顯微鏡載物臺(tái)上。其卓越的性能和可靠性能夠安全、高效地對(duì)晶圓正面和背面進(jìn)行宏觀檢測(cè),非常適合于前道到后道工程的晶圓檢查,從而提高整個(gè)流程檢測(cè)效率。
嘉賓體驗(yàn)MX63L+AL120 半導(dǎo)體/ FPD /工業(yè)檢測(cè)顯微鏡
“隨心選擇 靈活運(yùn)用”用于整合的顯微鏡部件
“節(jié)約成本,精準(zhǔn)把握品控,檢測(cè)環(huán)節(jié)的優(yōu)化,最終達(dá)到節(jié)省項(xiàng)目開發(fā)周期,為更多半導(dǎo)體廠商提供更優(yōu)質(zhì)精準(zhǔn)的儀器……”隨著展臺(tái)工作人員對(duì)參會(huì)人員耐心的闡述產(chǎn)品優(yōu)勢(shì),也驗(yàn)證了奧林巴斯100多年在光學(xué)-機(jī)械、電子、數(shù)字和精密技術(shù)領(lǐng)域的豐富經(jīng)驗(yàn),其“用于整合的顯微鏡部件”可提供超過1000個(gè)組件,能夠輕松應(yīng)對(duì)半導(dǎo)體廠商切實(shí)需求,并幫助其從各種現(xiàn)成和定制光學(xué)器件及組件中進(jìn)行選型,為用戶節(jié)省觀察時(shí)間,最終縮短產(chǎn)品開發(fā)時(shí)間。
技術(shù)產(chǎn)品選型僅僅是第一步,奧林巴斯還可提供協(xié)助按計(jì)劃執(zhí)行生產(chǎn)和開發(fā)計(jì)劃的靈活供應(yīng)鏈管理服務(wù)。奧林巴斯組件的質(zhì)量和性能將直接對(duì)設(shè)備制造商的成功構(gòu)成影響,其專業(yè)支持團(tuán)隊(duì)可滿足現(xiàn)今苛刻的技術(shù)和物流需求。
用于整合的顯微鏡部件
伴隨中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)全面恢復(fù),更多前沿的技術(shù)和解決方案在展會(huì)中得以全面的展示。作為百年光學(xué)企業(yè),奧林巴斯會(huì)秉承其優(yōu)質(zhì)高效的產(chǎn)品以及服務(wù)理念,持續(xù)提供精密的工業(yè)產(chǎn)品,不斷進(jìn)取,開拓市場(chǎng),為全力支持中國乃至世界“后疫情時(shí)代”的全新工業(yè)局勢(shì)而不斷發(fā)力。
備注：
