10月10日消息，這對(duì)于ASML來(lái)說(shuō)是不是有點(diǎn)魔幻，俄羅斯號(hào)稱(chēng)開(kāi)發(fā)出可以替代光刻機(jī)的芯片制造工具。
據(jù)俄羅斯國(guó)際新聞通訊社報(bào)道，圣彼得堡理工大學(xué)的研究人員開(kāi)發(fā)出了一種“國(guó)產(chǎn)光刻復(fù)合體”，可用于蝕刻生產(chǎn)無(wú)掩模芯片，這將使“解決俄羅斯在微電子領(lǐng)域的技術(shù)主權(quán)問(wèn)題”成為可能。
據(jù)介紹，其中一種工具的成本為 500 萬(wàn)盧布（當(dāng)前約36.3萬(wàn)元人民幣），另一種工具的成本未知。
據(jù)開(kāi)發(fā)人員稱(chēng)，傳統(tǒng)光刻技術(shù)需要使用專(zhuān)門(mén)的掩膜板來(lái)獲取圖像。該裝置由專(zhuān)業(yè)軟件控制，可實(shí)現(xiàn)完全自動(dòng)化，隨后的另外一臺(tái)設(shè)備可直接用于形成納米結(jié)構(gòu)，但也可以制作硅膜，例如用于艦載超壓傳感器。
在這之前，俄羅斯科學(xué)院下諾夫哥羅德應(yīng)用物理研究所就宣布開(kāi)始朝這個(gè)方向展開(kāi)工作，所以有上述成功產(chǎn)生并不意外。
要知道，俄羅斯大諾夫哥羅德策略發(fā)展機(jī)構(gòu)發(fā)豪語(yǔ)，宣稱(chēng)俄羅斯科學(xué)院旗下應(yīng)用物理研究所將會(huì)跌破所有人眼鏡，在2028年開(kāi)發(fā)出可以生產(chǎn)7納米芯片的光刻機(jī)，還可擊敗ASML同類(lèi)產(chǎn)品。
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