【ITBEAR科技資訊】12月16日消息，國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局最近宣布，華為技術(shù)有限公司的一項(xiàng)名為“晶圓處理裝置和晶圓處理方法”的專利申請(qǐng)已經(jīng)獲得批準(zhǔn)，公開(kāi)號(hào)為CN117219552A，該申請(qǐng)于2022年6月提交。
根據(jù)專利摘要，這一公開(kāi)的實(shí)施例涉及晶圓處理裝置和晶圓處理方法。晶圓處理裝置包括了晶圓載臺(tái)，這個(gè)載臺(tái)可以繞著旋轉(zhuǎn)軸線旋轉(zhuǎn)，還有機(jī)械臂，其中包括機(jī)械手，用于搬運(yùn)晶圓并將其放置在晶圓載臺(tái)上。此外，還包括了控制器和校準(zhǔn)組件。
具體來(lái)說(shuō)，這個(gè)裝置包括光柵板，它相對(duì)于晶圓載臺(tái)是固定的，還有光源，這個(gè)光源相對(duì)于光柵板也是固定的。成像元件是安裝在機(jī)械臂上的，它適合接收來(lái)自光源的光，這些光通過(guò)光柵板傳遞。控制器被配置成基于成像元件對(duì)接收到的光的檢測(cè)來(lái)控制機(jī)械臂或機(jī)械臂上的調(diào)整裝置，以調(diào)整晶圓的位置。
需要注意的是，在晶圓載臺(tái)上承載晶圓的情況下，光柵板和成像元件分別位于晶圓載臺(tái)的上表面所在平面的兩側(cè)，上表面用于承載晶圓。這一實(shí)施例提供的裝置和方法能夠顯著提高晶圓對(duì)準(zhǔn)的效率和對(duì)準(zhǔn)精度。
據(jù)ITBEAR科技資訊了解，截至2022年底，華為已經(jīng)擁有超過(guò)12萬(wàn)項(xiàng)有效授權(quán)專利，這些專利主要分布在中國(guó)、歐洲、美洲、亞太、中東和非洲等地。其中，華為在中國(guó)和歐洲分別持有4萬(wàn)多項(xiàng)專利，在美國(guó)也擁有超過(guò)22000多項(xiàng)專利。這標(biāo)志著華為在全球范圍內(nèi)在技術(shù)創(chuàng)新和知識(shí)產(chǎn)權(quán)領(lǐng)域取得了顯著的成就。
